一、操作前置說明

二、作業前期準備

1. 環境與放置檢查

   將泵體放置在水平、干燥通風臺面，機身四周預留 20cm 以上散熱空間，避開酸堿揮發、粉塵堆積區域；無塵車間內需放置在防靜電工作臺，地面鋪設導電地墊。

2. 工具與配套物料準備

   絕緣剝線鉗、十字絕緣螺絲刀、絕緣膠帶、萬用表、3×5mm 真空軟管、L 型標準接頭、穩壓 AC100V 電源、防靜電接地線；無塵場景配套潔凈無塵布擦拭管路與泵體接口。

3. 基礎外觀預檢

   目視檢查機身外殼無開裂、進出氣 HEPA 濾芯無破損、透明觀察窗無裂痕、出線電源線外皮無磨損裸露；管路接頭密封圈完整無硬化開裂。

4. 電氣安全前置要求

   操作前斷開穩壓電源總開關，執行掛牌上鎖流程，全程斷電開展接線作業，杜絕帶電操作觸電風險。

三、斷電狀態標準接線步驟

3.1 電源回路接線

1. 使用剝線鉗輕剝穩壓電源輸出端線纜絕緣皮，露出銅芯長度控制在 5mm，不出現銅絲散絲分叉。

2. FV-30 出線共兩根動力線，無正負極區分，分別接入穩壓電源 AC100V 輸出端子，螺絲刀均勻擰緊端子螺絲，線纜無松動、擠壓破損。

3. 線纜彎折處預留松弛余量，避免設備振動拉扯接線端子，接線點位包裹絕緣膠帶隔離裸露金屬部位。

3.2 防靜電接地接線

1. 找到機身底部金屬接地螺釘，取下螺釘，將防靜電接地線銅環墊片套入螺釘復位鎖緊。

2. 接地線另一端連接工作臺接地匯流排，使用萬用表測量接地通路，保證導通穩定，降低氣流摩擦產生靜電擊穿元器件的概率。

3.3 真空管路接線

1. 進氣口安裝配套 L 型接頭，插接 3×5mm 真空軟管，軟管另一端對接真空吸筆、吸附工裝；排氣口保留通暢，不封堵、不加裝節流閥。

2. 軟管兩端插接到位，輕拉管路確認無脫落風險，管路盡量縮短長度，減少氣流壓降造成負壓衰減。

3.4 接線完成復檢

1. 復查電源端子、接地螺釘、管路接頭三處連接點位，確認全部緊固。

2. 萬用表調至交流電壓檔，空載測量穩壓電源輸出端電壓，數值穩定在 AC100V 區間內，無電壓偏高、偏低情況。

四、通電開機前置全面點檢（未合閘送電）

1. 氣路濾芯檢查

   透過機身透明觀察窗查看進氣 HEPA 濾芯，濾芯無大面積積灰、無異物堵塞；濾芯倉卡扣閉合到位，無縫隙漏氣。

2. 泵腔狀態檢查

   輕晃整機，內部無異物碰撞異響，隔膜、閥片無卡滯風險；整機無傾斜擺放，底腳貼合工作臺面。

3. 管路密封性預檢

   封堵軟管末端吸嘴，人為封閉整條真空回路，確認管路無肉眼可見縫隙、孔洞。

4. 周邊安全確認

   線纜不擠壓、不纏繞，無接觸尖銳金屬邊角；穩壓電源周邊無紙張、無塵布等易燃物料。

五、通電試運行操作流程

1. 解除掛牌上鎖，閉合穩壓電源總開關，設備線圈通電啟動，隔膜開始高頻往復運行。

2. 啟動后 30 秒聽覺、振動觀測

   貼近機身聆聽運行聲響，正常狀態為均勻輕微振動聲，無尖銳摩擦、撞擊異響；手部輕觸機身，振動幅度平緩，無異常抖動。

3. 負壓數值檢測

   將負壓表接在管路中間，空載運行 2 分鐘，觀察負壓逐步下降，穩定后區間接近 - 50kPa；若負壓數值偏高，排查管路接頭密封情況。

4. 氣路通暢測試

   松開軟管末端封堵，負壓數值快速回升至常壓，代表進氣、排氣氣路通暢，單向閥開合無卡滯。

5. 異常斷電處置

   運行中出現異響、機身異常升溫、負壓持續不足，立即斷開總電源開關，排查接線、濾芯、管路故障后再次試機。

六、正常投產標準運行規范

1. 試運行無異常后，連接生產工裝開展元器件吸附作業，單次連續運行時長不超過 8 小時，中途可停機 10 分鐘輔助散熱。

2. 運行過程每小時簡易巡檢一次，巡檢內容包含三項：機身表面溫度、濾芯積灰狀態、管路接頭是否漏氣。

3. 無塵作業時，避免粉塵、藥液揮發氣體長時間被吸入泵體，減少濾芯、隔膜損耗速度。

4. 禁止長時間封閉進氣口持續抽氣，容易加劇隔膜疲勞形變，縮短部件使用周期。

七、工序結束規范停機流程

1. 先取下工裝吸嘴，斷開工件密封吸附狀態，讓管路連通大氣平衡內部負壓。

2. 保持設備空載運行 1 分鐘，排出泵腔內部殘留粉塵、微量水汽。

3. 斷開穩壓電源總開關，等待隔膜停止往復振動。

4. 若當日不再使用，拔掉電源輸出端子，拆除真空軟管，使用無塵布封堵泵體進出氣口，阻擋車間粉塵進入濾芯倉。

5. 松開接地螺釘收納接地線，整理電源線、真空軟管，整齊擺放避免彎折破損。

八、每日操作收尾與基礎保養

1. 無塵布擦拭機身外殼、管路外表面，清除表面浮塵，維持工位潔凈度。

2. 記錄當日運行時長、負壓穩定狀態、濾芯積灰程度，便于預判濾芯更換節點。

3. 長期停用（超過 7 天），將設備存放于干燥防塵收納區域，管路、泵口全程封堵。

九、安全操作約束要點

1. 全程僅適配 AC100V 穩壓電源，禁止搭配升壓、簡易調壓裝置，電壓波動幅度過大會損傷電磁線圈。

2. 接線、拆機維護必須斷電操作，帶電插拔線纜會造成端子打火，損壞電路組件。

3. 排氣口不可對準晶圓、光學鏡片等工件，排氣氣流攜帶微量隔膜磨損微粒，可能造成產品表面瑕疵。

4. 出現機身發燙、異響、負壓持續衰減等情況，立刻停機斷電，不持續帶故障運行。